在研磨拋光工藝中有很超精密的研磨拋光工藝，下面小編簡(jiǎn)單的介紹兩個(gè)拋光研磨工藝，分別是液面研磨拋光各水合拋光。

1.液面研磨拋光其原理是：研拋時(shí)工件與拋光盤之間流體壓力會(huì)形成間隙，利用其化學(xué)反應(yīng)所具有的腐蝕性的液體運(yùn)動(dòng)來(lái)進(jìn)行研拋，其研磨方法的特點(diǎn)就是：不用使用磨料，這同時(shí)也是一種化學(xué)腐蝕加工方法。如果其中的腐蝕液成分是以甲醇、乙三醇與溴為主的混合液，可以用來(lái)加工基片表面。

2.水合研磨拋光其原理是：兩個(gè)物體產(chǎn)生相對(duì)摩擦，在接觸區(qū)產(chǎn)生的高溫高壓使工件表面上的分子與原子呈現(xiàn)活性化，現(xiàn)利用過(guò)熱的水蒸汽分子與水作用其表面，從而在基面形成水合化層。利用工件臨界面上生成水合反應(yīng)，工件表面借助過(guò)熱的水蒸汽將其表面的水合化層分離，去除，一般去除厚度量為零點(diǎn)幾個(gè)納米；從而獲得無(wú)劃痕，平滑光澤且無(wú)變形的潔凈面。其最大的特點(diǎn)是：不使用磨料和加工液，而使用的加工裝置與目前的陶瓷拋光機(jī)使用的相似，只是其加工裝置一般是用于噴液，而它則是水蒸汽裝置；水合研磨拋光一般都在水蒸汽環(huán)境中進(jìn)行。適合加工一些光學(xué)元件的超精密加工。

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